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國家電子級超純水的技術指標
項目 |
技術指標 |
||||
EW-I |
EW-Ⅱ |
EW-Ⅲ |
EW-IV |
||
電阻率(25℃)/MQ ·cm |
≥18 (5%時間不低于17) |
≥15 (5%時間不低于13) |
≥12.0 |
≥0.5 |
|
全硅/(μg/L) |
≤2 |
≤10 |
≤50 |
≤1000 |
|
微粒數/ (個/L) |
0.05μm~0.1μm |
500 |
- |
- |
- |
0.1μm~0.2μm |
300 |
- |
- |
- |
|
0.2μm~0.3μm |
50 |
- |
- |
- |
|
0.3μm~0.5μm |
20 |
- |
- |
- |
|
>0.5μm |
4 |
- |
- |
- |
|
細菌個數/(個/mL) |
≤0.01 |
≤0.1 |
≤10 |
≤100 |
|
銅/(μg/L) |
≤0.2 |
≤1 |
≤2 |
≤500 |
|
鋅/(μg/L) |
≤0.2 |
≤1 |
≤5 |
≤500 |
|
鎳/(μg/L) |
≤0.1 |
≤1 |
≤2 |
≤500 |
|
鈉/(μg/L) |
≤0.5 |
≤2 |
≤5 |
≤1000 |
|
鉀/(μg/L) |
≤0.5 |
≤2 |
≤5 |
≤500 |
|
鐵/(μg/L) |
≤0.1 |
- |
- |
- |
|
鉛/(μg/L) |
≤0.1 |
- |
- |
- |
|
氟/(μg/L) |
≤1 |
- |
|
|
|
氯/(μg/L) |
≤1 |
≤1 |
≤10 |
≤1000 |
|
亞硝酸根/(μg/L) |
≤1 |
- |
- |
- |
|
溴/(μg/L) |
≤1 |
- |
- |
- |
|
硝酸根/(μg/L) |
≤1 |
≤1 |
≤5 |
≤500 |
|
磷酸根/(μg/L) |
≤1 |
≤1 |
≤5 |
≤500 |
|
硫酸根/(μg/L) |
≤1 |
≤1 |
≤5 |
≤500 |
|
總有機碳/(μg/L) |
≤20 |
≤100 |
≤200 |
|
典型的超純水工藝流程
工藝特點:水中大部分的鹽分采用反滲透方式去除,后段采用MB系統制取高純水,可有效的延長MB系統的再生周期,減少酸堿的使用量。
改良純水工藝流程
工藝特點:反滲透及EDI的出現改變了傳統陰/陽床除鹽效果低的缺點,徹底摒棄酸堿的使用,實現全過程綠色化生產。
全膜法純水工藝流程
工藝特點:全膜法水處理工藝,將預處理系統進一步優化改良,增強預處理效果,拓寬進水條件,可以較好的實現中水回收再利用。